機器消耗品市場

商品情報

　　

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商品NO	1844	商品名	マグネトロンスパッタ装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	MSP-20TK	価格		商品問合せ
特徴	この装置は電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性を持っています。ターゲット材料は主にタングステンを使用し、その他の特殊金属においてもコーティング可能な金属は多数存在します。電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。					カタログ
仕様	電源： AC100V, 15A アース線付３芯プラグ使用３ｍ装置サイズ：本体 W354mm×D368mm×H430　22kg ロータリーポンプ：排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１）重量１４．６ｋｇ試料室サイズ：内径149mm、深さ126mm 試料ステージ： φ47mm　フローティング方式ターゲット－試料間隔： 50～70mm 試料サイズ：直径≦φ45mm、高さ：≦30ｍｍターゲット：Ｗ（標準）、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｔｉ等磁場キャンセルNiプレート：貴金属ターゲットAu/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag
備考	必須ユーティリティについてアルゴンガス　二次側圧力０．０５ＭＰａ～０．０８ＭＰａ、接続１／４インチスウェージロック			管理NO

	白金粒子コーティング（比較例）	タングステン粒子は非常に細かく、白金成膜では物足りない高倍率領域（２０万倍以上）での観察をサポートします。

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